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大中型臭氧发生器在造成臭氧时，会造成发热量，使设备內部环境温度上升。较高的气温会溶解臭氧，降低臭氧量。因而在臭氧的发生全过程中，务必对产生器开展冷却，以平稳和提升臭氧量。
臭氧发生器的冷却方法有时间冷和水冷散热。工业生产臭氧发生器多见中大中型臭氧发生器，一般用风冷方法冷却。在产生器的制定和应用中，务必遵循一些标准，以得到臭氧的增产，确保产生器的常规运作。

一般选用饮用水或循环系统冷却水冷却。假如当场沒有循环系统冷却水，因为应用很多饮用水，会产生很多不必要的消耗。

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